具有涂布机夹盘的涂布装置

摘要

公开了一种具有涂布机夹盘的涂布装置，其能通过以使用不同类型的材料形成涂布机夹盘的方式来防止用于进行光刻胶涂布工序的涂布机夹盘下垂来提高光刻胶涂布均匀性，其中所述涂布机夹盘由石头形成并与经由伺服电机的驱动轴连接，所述驱动轴可上下移动，且通过狭缝喷嘴涂布有光刻胶的玻璃基板被放置在该涂布机夹盘上。

主权项

一种具有涂布机夹盘的涂布装置，包括：经由伺服电机的驱动轴；可上下移动的驱动电机；和由石头形成并与经由所述伺服电机的所述驱动轴连接的涂布机夹盘，玻璃基板被放置在所述涂布机夹盘上，通过狭缝喷嘴给所述玻璃基板涂布光刻胶。