发明名称 DEVICE FOR MEASURING ASPHERICAL INTERFERENCE
摘要
申请公布号 JPH1089935(A) 申请公布日期 1998.04.10
申请号 JP19960239369 申请日期 1996.09.10
申请人 NIKON CORP 发明人 ICHIKAWA HAJIME
分类号 G01B9/02;G01B11/24;G01M11/02;(IPC1-7):G01B11/24 主分类号 G01B9/02
代理机构 代理人
主权项
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