发明名称 |
通用型石英硅片舟 |
摘要 |
通用型石英硅片舟,由主架(1)、下槽棒(2)、上槽棒(3)和硅片(4)组成,下槽棒(2)和上槽棒(3)固定在主架(1)上,硅片(4)的相邻二侧分别插套在二根下槽棒(2)的与水平面呈45°角的底孔(21)和左右二根上槽棒(3)的与水平面呈45°角的插孔(31)中。它能同时承载125*125mm和156*156mm二种规格的硅片,给使用者更换硅片带来方便。 |
申请公布号 |
CN201732806U |
申请公布日期 |
2011.02.02 |
申请号 |
CN201020251789.5 |
申请日期 |
2010.07.08 |
申请人 |
湖州金科石英有限公司 |
发明人 |
周文斌 |
分类号 |
H01L31/18(2006.01)I |
主分类号 |
H01L31/18(2006.01)I |
代理机构 |
北京汇信合知识产权代理有限公司 11335 |
代理人 |
王秀丽 |
主权项 |
通用型石英硅片舟,由主架(1)、下槽棒(2)、上槽棒(3)和硅片(4)组成,下槽棒(2)和上槽棒(3)固定在主架(1)上,其特征在于:硅片(4)的相邻二侧分别插套在二根下槽棒(2)的与水平面呈45°角的底孔(21)和左右二根上槽棒(3)的与水平面呈45°角的插孔(31)中。 |
地址 |
313000 浙江省湖州市吴兴区八里店镇中小企业创业园10号标准厂房 |