发明名称 通用型石英硅片舟
摘要 通用型石英硅片舟,由主架(1)、下槽棒(2)、上槽棒(3)和硅片(4)组成,下槽棒(2)和上槽棒(3)固定在主架(1)上,硅片(4)的相邻二侧分别插套在二根下槽棒(2)的与水平面呈45°角的底孔(21)和左右二根上槽棒(3)的与水平面呈45°角的插孔(31)中。它能同时承载125*125mm和156*156mm二种规格的硅片,给使用者更换硅片带来方便。
申请公布号 CN201732806U 申请公布日期 2011.02.02
申请号 CN201020251789.5 申请日期 2010.07.08
申请人 湖州金科石英有限公司 发明人 周文斌
分类号 H01L31/18(2006.01)I 主分类号 H01L31/18(2006.01)I
代理机构 北京汇信合知识产权代理有限公司 11335 代理人 王秀丽
主权项 通用型石英硅片舟,由主架(1)、下槽棒(2)、上槽棒(3)和硅片(4)组成,下槽棒(2)和上槽棒(3)固定在主架(1)上,其特征在于:硅片(4)的相邻二侧分别插套在二根下槽棒(2)的与水平面呈45°角的底孔(21)和左右二根上槽棒(3)的与水平面呈45°角的插孔(31)中。
地址 313000 浙江省湖州市吴兴区八里店镇中小企业创业园10号标准厂房