微影装置、元件制造之方法、藉此制造之元件及利用一具有分布数位对类比转换之空间灯光调变器之可控制的图案化元件

主权项

一种微影装置，其包含：一照明系统，其供应一辐射光束；一可控制图案化元件，其包含图案化该光束之一单独可控制元件阵列；一控制系统，其输出一电压讯号且控制该图案化元件；一投影系统，其将该经图案化之光束投射至一基板之一目标部分上；及一供应通道，其耦接于该控制系统与该图案化元件之间，其中该图案化元件包含复数个单元，每一单元包含该等单独可控制元件中之一个别之一者及一个别局部控制电路可控制以产生判定该个别可控制元件之一组态的一个别控制电压，该供应通道提供该电压讯号至每一单元，该控制系统提供控制讯号至该等复数个局部控制电路，每一局部控制电路包含具有一逻辑元件、一切换系统及一积分电路的一电荷收集器，及每一局部控制电路回应于该等控制讯号而自该电压讯号产生该个别控制电压。如请求项1之微影装置，其中：该图案化元件被划分成复数组单元组；及存在复数个该等供应通道，在该复数个供应通道中之每一供应通道经配置以提供该电压讯号至一个别单元组中的每一单元。如请求项1之微影装置，其中该等个别控制电压中之每一者包含一类比电压值。如请求项1之微影装置，其中该电压讯号包含一系列不同电压，且该等局部控制电路中之每一者包含该个别积分电路，其回应于该等控制讯号而藉由积算来自该系列之至少一个选定个别电压而产生该个别控制电压。如请求项4之微影装置，其中该系列不同电压中之每一电压等于一满标度电压除以一数目，该数目小于或等于一对应于该等单元中之每一者之一所要控制电压的数位讯号中之位元数目。如请求项4之微影装置，其中该等控制讯号包含一数位位址输入，其经配置以对于该等单元中之一个别单元，当该电压讯号处于一对应于该个别单元之该数位讯号中之处于高位准之位元位置的电压位准时，该数位位址输入为高位准。如请求项1之微影装置，其中在该等局部控制电路中之每一者中之该积分电路包含：一第一电容器，其具有第一及第二端子；一运算放大器，其具有第一及第二输入以及一输出，该第二输入连接至接地；一第二电容器，其连接于该运算放大器之该第一输入与该输出之间；及在该等局部电路的每一者中的该切换系统包含：将该个别局部电路连接至该供应通道的一第一可控制切换元件，及一第二可控制切换元件，其具有一其中该第一电容器之该第二端子连接至接地之选择位置，及一其中该第一电容器之该第二端子连接至该运算放大器之该第一输入的取消选择位置；该第一可控制切换元件具有一其中该第一电容器之该第一端子连接至该电压讯号之选择位置及一其中该第一电容器之该第一端子连接至接地的取消选择位置；每一局部控制电路经配置，以使该第一可控制切换元件及该第二可控制切换元件之操作受控于该数位位址输入，其中，当该数位位址输入为高位准时，该等可控制切换元件处于该选择位置且该第一电容器充电至该电压讯号之电压；当该数位位址输入为低位准时，该等可控制切换元件处于该取消选择位置且储存于该第一电容器上之电荷转移至该第二电容器，及在该电压讯号之每一系列不同电压之后，该电荷放大器之该输出上的该电压包含该个别可控制元件之该控制电压。如请求项7之微影装置，其中该等局部控制电路中之每一者进一步包含：一第三可控制切换元件，其经配置以与该第二电容器电并联且受控于一重设讯号，使得当该第一可控制切换元件及该第二可控制切换元件处于该取消选择位置时关闭该第三可控制切换元件，大体上减少储存于该等电容器上之任何电荷至零，且大体上减小该控制电压至零伏特。如请求项7之微影装置，其中每一局部控制电路进一步包含：一第三电容器，其具有一第一端子及一连接至接地之第二端子；及一第四可控制切换元件，其连接于该运算放大器之该输出与该第三电容器之该第一端子之间；其中，可选择性关闭该第四可控制切换元件，以使该第三电容器充电至该运算放大器之该输出电压，跨该第三电容器之电压包含彼单元之该个别可控制元件的该控制电压。如请求项9之微影装置，其中该第三电容器包含该个别可控制元件之一输入电容。如请求项1之微影装置，其中该等控制讯号包含：一数位位址输入；及一数位讯号，其对应于每一单元之一所要控制电压，每一局部控制电路回应于该数位位址输入而接收该数位讯号之一个别一者。如请求项11之微影装置，其中：该切换系统经由一第四电容器连接于该供应通道与接地之间，该切换系统受控于一中间控制讯号；及跨该第四电容器之电压包含该个别可控制元件之该控制电压。如请求项12之微影装置，其中该第四电容器可包含该个别可控制元件之输入电容。如请求项11之微影装置，其中：该电压讯号包含一电压，其之量值在一预定时间周期内渐进改变；及该等局部控制电路中之每一者回应于该等控制讯号，而藉由在该预定时间周期期间控制该切换系统的一操作时序来判定该个别控制电压。如请求项14之微影装置，其中该等局部控制电路中之每一者中之该复数个个别额外电子组件包含：一递减计数器，其接收该数位讯号、等待一自该预定时间周期开始之根据该数位讯号之值的时间段且随后开启该切换系统中的一切换器。如请求项15之微影装置，其中可自该预定时间周期开始时关闭该切换器。如请求项11之微影装置，其中：该电压讯号包含一大体上恒定量值之电压；该等局部控制电路中之每一者包含一个别(脉宽调变)PWM讯号产生器，其经配置以产生一控制该切换系统之PWM控制讯号；及来自该控制系统之该等控制讯号经配置以判定每一PWM控制讯号之一工作循环。如请求项1之微影装置，其中该个别电荷收集器经组态以接收位址信号、重设信号及该等控制信号以产生该等个别控制电压。一种元件制造之方法，其包含：提供具有复数个单独可控制元件之图案化元件，该图案化元件使用复数个单元，该复数个单元中之每一单元包含该等单独可控制元件中之一个别一者及一个别局部控制电路；向该等局部控制电路中之每一者提供具有一逻辑元件、一切换系统及一积分电路的一个别电荷收集器；用该等局部控制电路中之每一者产生一个别控制电压；使用该个别控制电压判定该个别可控制元件之一组态；提供一电压讯号至该等单元中之每一者；提供控制讯号至该等复数个局部控制电路；及该等局部控制电路中之每一者回应于该等控制讯号而自该电压讯号产生该个别控制电压；使用该可控制图案化元件图案化一辐射光束；及将该经图案化之辐射光束投射至一基板之一目标部分上。如请求项19之方法，其中：该电压讯号系由一系列不同电压形成；及该个别控制电压系回应于该等控制讯号而藉由积算来自该系列之至少一个选定个别电压而产生。如请求项19之方法，其中：该电压讯号包含一电压，其之量值在一预定时间周期内渐进改变；及在该预定时间周期期间，回应于该等控制讯号，藉由控制该个别切换系统的一操作时序来判定该个别控制电压。如请求项19之方法，其中：该电压讯号包含一大体上恒定量值之电压；该等局部控制电路中之每一者包含一个别脉宽调变(PWM)讯号产生器，其产生一控制该个别切换系统之PWM控制讯号；及工作循环回应于来自该控制系统之该等控制讯号而判定每一PWM控制讯号之一工作循环。一种元件制造之方法，其包含：使用包含一单独可控制元件阵列之可控制图案化元件来图案化一辐射光束；将该经图案化之光束投射至一基板之一目标部分上；及使用一控制系统产生个别控制电压，该等个别控制电压判定该等可控制元件中之个别者的一组态，该使用步骤包含，顺序地接收对应于该控制系统处之该等个别控制电压之多位元数位讯号；将该等数位讯号分成至少两个较短数位讯号；供应每一较短数位讯号至复数个解多工器中之一个别解多工器；使用该个别解多工器控制连接至复数个电压输入线之复数个切换器；控制由该等复数个解多工器中之一第一解多工器控制之该等切换器的一第一组的输出，以使得该等输出系相对于该等切换器之另一组的输出予以按比例缩放；共同连接所有该等输出以形成该等控制电压；及供应该等控制电压至该单独可控制元件阵列。如请求项23方法，其中每一切换器系经由一电阻器连接至其之个别电压输入线，连接至切换器之该第一组之该等电阻器大于连接至切换器之该另一组之该等电阻器。一种可控制图案化元件，其包含图案化一辐射光束之一单独可控制元件阵列，其中该图案化元件包含：复数个单元，每一单元包含，该等单独可控制元件中之一个别一者，及一个别局部控制电路，其产生一个别控制电压，该个别控制电压判定该个别可控制元件之一组态，该等局部控制电路中之每一者包含一电荷收集器，该电荷收集器包含，一逻辑元件；一积分电路，耦接在该逻辑元件及该积分电路之间的一第一个别可控制切换元件，其连接该积分电路至一供应通道，以提供一电压讯号至每一单元，及复数个个别额外电子组件，该等局部控制电路中之每一者接收控制讯号且自该电压讯号产生该个别控制电压。