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发明名称 PROBE FOR SCANNING TYPE PROBE MICROSCOPE AND PRODUCING METHOD THEREFOR
摘要
申请公布号 JPH10339736(A) 申请公布日期 1998.12.22
申请号 JP19970152242 申请日期 1997.06.10
申请人 OLYMPUS OPTICAL CO LTD 发明人 TODA AKITOSHI
分类号 G01B21/30;G01N37/00;G01Q60/38;G01Q70/10;G01Q70/16;(IPC1-7):G01N37/00 主分类号 G01B21/30
代理机构 代理人
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