Plasma Cleaning Apparatus For Mold Chase,申请号KR20080092002-传众专利搜索

发明名称	Plasma Cleaning Apparatus For Mold Chase
摘要
申请公布号	KR101011870(B1)	申请公布日期	2011.01.31
申请号	KR20080092002	申请日期	2008.09.19
申请人		发明人
分类号	H01L21/302	主分类号	H01L21/302
代理机构		代理人
主权项
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