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发明名称 TEMPERATURE CONTROL UNIT FOR APPARATUS IN ORDER TO SUPPORT TESTING AN ELECTRIC DEVICE
摘要
申请公布号 KR101011689(B1) 申请公布日期 2011.01.31
申请号 KR20080052210 申请日期 2008.06.03
申请人 发明人
分类号 G05D23/00;G01R31/26;H01L21/66 主分类号 G05D23/00
代理机构 代理人
主权项
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