发明名称 HIGH-K DIELECTRIC FILMS AND METHODS OF PRODUCING USING TITANIUM-BASED PRECURSORS
摘要
申请公布号 IL209379(D0) 申请公布日期 2011.01.31
申请号 IL20100209379 申请日期 2010.11.17
申请人 SIGMA-ALDRICH CO. 发明人
分类号 C23C 主分类号 C23C
代理机构 代理人
主权项
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