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经营范围
发明名称
OUTER TUBE MADE OF SILICON CARBIDE AND THERMAL TREATMENT APPARATUS FOR SEMICONDUCTORS
摘要
申请公布号
KR101011650(B1)
申请公布日期
2011.01.28
申请号
KR20040012796
申请日期
2004.02.25
申请人
发明人
分类号
H01L21/324;C23C16/44;H01L21/00
主分类号
H01L21/324
代理机构
代理人
主权项
地址
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