发明名称 INSPECTION APPARATUS FOR SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH11204594(A) 申请公布日期 1999.07.30
申请号 JP19980008012 申请日期 1998.01.19
申请人 SEIKO EPSON CORP 发明人 KOIZUMI NORIOMI
分类号 G01N21/91;G01N21/78;G01N33/00;H01L21/66;(IPC1-7):H01L21/66 主分类号 G01N21/91
代理机构 代理人
主权项
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