METHOD FOR FORMING CVD-TI FILM,申请号JP19980013483-传众专利搜索

发明名称	METHOD FOR FORMING CVD-TI FILM
摘要
申请公布号	JPH11204457(A)	申请公布日期	1999.07.30
申请号	JP19980013483	申请日期	1998.01.09
申请人	TOKYO ELECTRON LTD	发明人	IKEDA TARO
分类号	C23C16/14;C23C16/04;C23C16/08;H01L21/205;H01L21/28;H01L21/285;(IPC1-7):H01L21/285	主分类号	C23C16/14
代理机构		代理人
主权项
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