| 摘要 |
Die vorliegende Erfindung schafft ein Herstellungsverfahren für ein mikromechanisches Bauelement mit einer Dünnschicht-Verkappung. Das Verfahren weist folgende Schritte auf: Bilden einer Funktionsschicht (3) auf einem Substrat (1); Strukturieren der Funktionsschicht (3) in erste Aussparungsbereiche (6) mit einer ersten Breite (d1) und in zu entfernende Bereiche (15) der Funktionsschicht (3) mit einer zweiten Breite (d2'), wobei die zweite Breite (d2') wesentlich größer als die erste Breite (d1) ist; Bilden einer ersten Oxidschicht (8) auf der strukturierten Funktionsschicht (3); Bilden einer ersten Verschlußschicht (9) auf der thermisch oxidierten und strukturierten Funktionsschicht (3), wobei die ersten Aussparungsbereiche (6) mit der ersten Breite (d1) verschlossen werden; Bilden einer Kappenschicht (11) auf der ersten Verschlußschicht (9); Bilden erster Durchgangslöcher (14), welche sich durch die Kappenschicht (11), die erste Verschlußschicht (9) und die erste Oxidschicht (8) erstrecken, zum zumindest teilweisen Freilegen von den zu entfernenden Bereichen (15) der Funktionsschicht (3); und selektives Entfernen der zu entfernenden Bereichen (15) der Funktionsschicht (3) durch Einbringen eines ersten Ätzmediums durch die ersten Durchgangslöcher (14), wodurch zweite Aussparungsbereiche (7') mit der zweiten Breite (d2') in der Funktionsschicht (3) entstehen.
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