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发明名称
PREPARATION OF MASK PATTERN, ALIGNER, GAIN-COUPLED DISTRIBUTED FEEDBACK-TYPE LASER, AND OPTICAL TRANSMISSION SYSTEM
摘要
申请公布号
JPH11251216(A)
申请公布日期
1999.09.17
申请号
JP19980047217
申请日期
1998.02.27
申请人
SHARP CORP
发明人
HIRAMATSU TAKUMA;SHIMONAKA ATSUSHI
分类号
B82B1/00;G03F7/20;H01L21/027;(IPC1-7):H01L21/027
主分类号
B82B1/00
代理机构
代理人
主权项
地址
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