| 摘要 |
1. Сканирующий зондовый микроскоп, совмещенный с оптическим микроскопом, включающий платформу, на которой установлены образец и оптический микроскоп с осветителем, отличающийся тем, что оптический микроскоп содержит базовый элемент с крышкой, на котором установлено оптоэлектронное устройство с объективом и матрицей ПЗС, сопряженное с трехкоординатным манипулятором, двухкоординатный манипулятор, сопряженный с осветителем, а также модуль фиксации базового элемента на платформе СЗМ. ! 2. Устройство по п.1, отличающееся тем, что базовый элемент выполнен в виде герметичного кожуха. ! 3. Устройство по п.1, отличающееся тем, что осветитель выполнен в виде светодиода. ! 4. Устройство по п.1, отличающееся тем, что оптический микроскоп имеет дополнительное место установки на платформе. ! 5. Устройство по п.1, отличающееся тем, что объектив оптоэлектронного устройства расположен под углом не равным 90° к поверхности образца. ! 6. Устройство по п.1, отличающееся тем, что оптическая ось объектива составляет с плоскостью ПЗС угол не равный 90°. ! 7. Устройство по п.1, отличающееся тем, что базовый элемент снабжен средствами герметизации, установленными с возможностью взаимодействия с платформой. ! 8. Устройство по п.1, отличающееся тем, что базовый элемент снабжен средствами точной установки на платформе. ! 9. Устройство по п.1, отличающееся тем, что крышка содержит, по меньшей мере, одно герметизированное оптическое окно. ! 10. Устройство по п.1, отличающееся тем, что оптический микроскоп включает трехкоординатный манипулятор. |
