发明名称 VERFAHREN UND VORRICHTUNG ZUR ÜBERWACHUNG EINER WÄRMEBEHANDLUNG EINES MIKROTECHNOLOGISCHEN SUBSTRATS
摘要
申请公布号 DE602007011261(D1) 申请公布日期 2011.01.27
申请号 DE20076011261T 申请日期 2007.06.11
申请人 COMMISSARIAT A L'ENERGIE ATOMIQUE ET AUX ENERGIESALTERNATIVES 发明人 SANCHEZ, LOIC
分类号 H01L21/762;B81C99/00 主分类号 H01L21/762
代理机构 代理人
主权项
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