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发明名称
Verfahren zur Herstellung eines mikromechanischen Bauelements mit einer partiellen Schutzschicht
摘要
申请公布号
DE102007013329(B4)
申请公布日期
2011.01.27
申请号
DE200710013329
申请日期
2007.03.20
申请人
FRAUNHOFER-GESELLSCHAFT ZUR FOERDERUNG DER ANGEWANDTEN FORSCHUNG E.V.
发明人
MERZ, PETER;REIMER, KLAUS;SENGER, FRANK
分类号
B81C1/00
主分类号
B81C1/00
代理机构
代理人
主权项
地址
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