发明名称 Verfahren zur Herstellung eines mikromechanischen Bauelements mit einer partiellen Schutzschicht
摘要
申请公布号 DE102007013329(B4) 申请公布日期 2011.01.27
申请号 DE200710013329 申请日期 2007.03.20
申请人 FRAUNHOFER-GESELLSCHAFT ZUR FOERDERUNG DER ANGEWANDTEN FORSCHUNG E.V. 发明人 MERZ, PETER;REIMER, KLAUS;SENGER, FRANK
分类号 B81C1/00 主分类号 B81C1/00
代理机构 代理人
主权项
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