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发明名称 PIEZOELEKTRISCHER DÜNNFILMRESONATOR UND VERFAHREN ZU SEINER HERSTELLUNG
摘要
申请公布号 DE602006018880(D1) 申请公布日期 2011.01.27
申请号 DE20066018880T 申请日期 2006.03.23
申请人 RADI MEDICAL SYSTEMS AB 发明人 KATARDJIEV, ILIA;WINGQVIST, GUNILLA;BJURSTROEM, JOHAN
分类号 H03H3/02;C23C14/22;H01L41/22;H01L41/24 主分类号 H03H3/02
代理机构 代理人
主权项
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