发明名称 METHOD FOR MANUFACTURING PLASMA DISPLAY PANEL AND FILM FORMING APPARATUS
摘要
申请公布号 KR20110009240(A) 申请公布日期 2011.01.27
申请号 KR20107028164 申请日期 2009.06.11
申请人 ULVAC, INC. 发明人 IIJIMA EIICHI;HAKOMORI MUNETO;KURAUCHI TOSHIHARU;YOKOYAMA AKIHIRO
分类号 H01J9/20;C23C14/08;H01J17/49 主分类号 H01J9/20
代理机构 代理人
主权项
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