发明名称 |
METHOD FOR MANUFACTURING PLASMA DISPLAY PANEL AND FILM FORMING APPARATUS |
摘要 |
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申请公布号 |
KR20110009240(A) |
申请公布日期 |
2011.01.27 |
申请号 |
KR20107028164 |
申请日期 |
2009.06.11 |
申请人 |
ULVAC, INC. |
发明人 |
IIJIMA EIICHI;HAKOMORI MUNETO;KURAUCHI TOSHIHARU;YOKOYAMA AKIHIRO |
分类号 |
H01J9/20;C23C14/08;H01J17/49 |
主分类号 |
H01J9/20 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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