发明名称 进行Czochralski方法时所用拉晶机之旋转头
摘要 本发明系关于一种拉晶机之旋转头以供实施契氏(Czochralski)方法之用。
申请公布号 TW391998 申请公布日期 2000.06.01
申请号 TW087104237 申请日期 1998.03.21
申请人 巴尔杰思和蓝伯德控股有限公司 发明人 法兰兹辛;温富瑞德库曼;海慕特凯什
分类号 C30B15/30 主分类号 C30B15/30
代理机构 代理人 郑自添 台北巿敦化南路二段七十七号八楼
主权项 1.一种进行(Czochrarlski)方法时所用拉晶机(1)之旋转头(11),其具有a)一可绕垂直旋轴轴线(A-A')而旋转的外壳(17),该外壳(17)在该旋转轴线之范围内具有一垂直之穿壁开口(25)以供可卷绕的牵引构件(13)之用,b)可驱动之轴(22,38),其上设有不可旋转但可轴向移动之绞盘(15,37),该绞盘具有一螺旋线形的绞槽(29)以便容纳该牵引构件,c)一引导装置,其可使绞盘(15,37)在轴向移动,该引导装置具有与绞槽相同的螺距并配置在一远离垂直旋转轴线(A-A')之位置上,利用该引导装置并藉绞槽(29)之助则可在垂直旋转轴线(A-A')中引导绞盘(15,37)上所卷绕的牵引构件(13)之部分,其特征为:d)轴(22,28)及绞盘(15,37)之轴线(H-H')是与水平参考平面(B-B')形成角度而延伸,使得在绞槽(29)内之牵引构件(13)是在一螺旋线之方向中通过,而该螺旋线可决定绞槽(29)之走向。2.如申请专利范围第1项之旋转头,其中角度最大为10度。3.如申请专利范围第1项之旋转头,其中外壳(17)是与水平参考平面(B-B')形成角度而对准。4.如申请专利范围第1项之旋转头,其中在轴向引导绞盘(15,37)用之引导装置是配置在绞盘(15)的延长部分(15a)之表面上,而导螺帽(31)则相对地被固定在外壳(17)上。5.如申请专利范围第1项之旋转头,其中在轴向引导绞盘(15,37)用之引导装置是配置在轴(38)之表面上,而导螺帽(40)相对于外壳(17)是不能旋转的但可藉绞盘(37)而在轴向移动。6.如申请专利范围第4或第5项之旋转头,其中引导装置具有一螺旋线形的导件(30,39),该导件构成导槽,而导螺帽(31,40)则经由环绕在周围的各钢珠(32)而与导槽共同作用。7.如申请专利范围第1项之旋转头,其中绞盘(15,37)借助于所置入之球导(22)而不能旋转地但可在纵向中移动地支承在轴(22)上。8.如申请专利范围第1项之旋转头,其中牵引构件(13)之端部具有直径较大的端块(44),藉此端块(44)则牵引构件(13)可保持在绞盘(15,37)内之切线孔(45)内,而且,在外壳(17)内设有一可闭合的开口(46),牵引构件之端块(44)可藉此开口(46)而引领至一齐平的位置中。9.如申请专利范围第1或第2项之旋转头,其中角度是在0.5度及5度之间。图式简单说明:第一图实施契氏(Czochralski)方法用之拉晶机中沿垂直旋转轴线A-A'之部分垂直剖面图。第二图在所谓旋转头之第一实例中沿倾斜轴线H-H'之垂直轴向剖面。第三图根据本发明之第二实例中沿倾斜轴线H-H'之部分轴向垂直剖面图。第四图在挠性牵引构件之固定位置及端部的范围内绞盘之垂直径向剖面图。
地址 德国
您可能感兴趣的专利