发明名称 Verfahren zur Herstellung von versenkten Kontaktst
摘要
申请公布号 DE102005022139(B4) 申请公布日期 2011.01.27
申请号 DE200510022139 申请日期 2005.05.12
申请人 UNIVERSITAET KONSTANZ 发明人 MCCANN, MICHELLE;STRUEMPEL, CLAUDIA;KNAUSS, HOLGER;LEMP, ENGELBERT;FATH, PETER
分类号 H01L31/18;H01L21/283;H01L31/0224;H01L31/042 主分类号 H01L31/18
代理机构 代理人
主权项
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