主权项 |
1.一种附有具有垫阵列之基材之IC晶片球栅阵列封装用之焊珠安置及无助熔剂式雷射再熔系统,其包含:模版对正装置具有模穴阵列可匹配垫阵列之模版,焊珠安置装置,及雷射模组,附有雷射头适合发射至少一股雷射束至焊珠上,该系统循序执行下列步骤:对正模版之模穴含有垫阵列;使用模版作为导引对正焊珠安置装置与基材故焊珠阵列对正垫阵列;排放对正的焊珠于附有预先施用之助熔剂之垫上,故焊珠置于各模版之模穴内;雷射头对正基材;及排放雷射束至焊珠上故焊珠被熔化且无助熔剂式焊接于垫上。2.如申请专利范围第1项之附有具有垫阵列之基材之IC晶片球栅阵列封装用之焊珠安置及无助熔剂式雷射再熔系统,其中该系统又包括一部摄影机,及于焊珠安置后使用摄影机来执行目测检视之额外步骤。3.如申请专利范围第1项之附有具有垫阵列之基材之IC晶片球栅阵列封装用之焊珠安置及无助熔剂式雷射再熔系统,其中该雷射头为矩阵雷射头。4.如申请专利范围第1项之附有具有垫阵列之基材之IC晶片球栅阵列封装用之焊珠安置及无助熔剂式雷射再熔系统,其中该雷射头可传送Nd:YAG雷射束。5.如申请专利范围第1项之附有具有垫阵列之基材之IC晶片球栅阵列封装用之焊珠安置及无助熔剂式雷射再熔系统,其中该雷射焊接步骤系于氮气环境下进行。6.如申请专利范围第1至5项中任一项之附有具有垫阵列之基材之IC晶片球栅阵列封装用之焊珠安置及无助熔剂式雷射再熔系统,其中该系统又包含一片热板,及于雷射焊接步骤后以热板执行焊珠之加热抛光之额外步骤。7.如申请专利范围第1至5项中任一项之附有具有垫阵列之基材之IC晶片球栅阵列封装用之焊珠安置及无助熔剂式雷射再熔系统,其中该系统又包含一座再熔烘箱,及于雷射焊接步骤后使用再熔烘箱执行焊珠之加热抛光之额外步骤。8.如申请专利范围第1至5项中任一项之附有具有垫阵列之基材之IC晶片球栅阵列封装用之焊珠安置及无助熔剂式雷射再熔系统,其中该垫为金制成。9.一种IC晶片之球栅阵列封装用之焊珠安置用装置,该IC晶片附有具有互连垫阵列之基材,该装置包含:模版对正装置其具有一片模版附有模穴阵列匹配垫阵列;焊珠安置于不含助熔剂垫上之装置;及一个雷射头其适合发射雷射束至焊珠故焊珠被熔化。图示简单说明:第一图为根据本发明之珠安置之示意图。第二图为根据本发明之雷射再熔系统之示意图。第三图为示意图显示雷射再熔焊珠用之矩阵雷射头之定位。第四图为流程图示例说明根据本发明之雷射再熔过程设计之各步骤。 |