| 发明名称 |
MEHRZONENWIDERSTANDSHEIZUNG |
| 摘要 |
|
| 申请公布号 |
DE60045384(D1) |
申请公布日期 |
2011.01.27 |
| 申请号 |
DE20006045384 |
申请日期 |
2000.09.18 |
| 申请人 |
TOKYO ELECTRON LTD. |
发明人 |
JOHNSON, WAYNE L.;STRANG, ERIC J. |
| 分类号 |
H05B3/06;H05B3/20;C23C16/458;C23C16/46;H01L21/00;H01L21/02;H01L21/302;H01L21/683;H05B3/02;H05B3/10 |
主分类号 |
H05B3/06 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
