用于从衬底移除聚合物的方法和设备

摘要

本发明提供了从衬底移除聚合物的方法和设备。在一实施例中，用于从衬底移除聚合物的设备包括：处理室，其具有界定了处理空间的室壁和室盖；衬底支撑组件，其被布置于处理室中；以及远程等离子体源，其经由形成于室壁中的出口端口耦接至处理室，出口端口具有指向被置于衬底支撑组件上的衬底的周边区域的开口，其中，远程等离子体源由抗氢核素的材料所构成。

主权项

一种用于从衬底移除聚合物的设备，其包括：处理室，其具有界定了处理空间的室壁和室盖；衬底支撑组件，其被布置于所述处理室中；远程等离子体源，其经由形成穿过所述处理室的出口端口耦接至所述处理室，所述出口端口具有指向被布置于所述衬底支撑组件上的衬底的周边区域的开口；以及以下特征(A)、(B)或(C)中的一者，其中：(A)包括所述衬底支撑组件的衬底支撑表面，所述衬底支撑表面使被布置于其上的衬底相对于所述衬底支撑组件实质电漂浮；(B)包括B场产生器，所述B场产生器被配置为在所述出口端口处提供B场，所述B场减少与被布置于所述衬底支撑组件上的衬底的边缘接触的离子数目；以及(C)包括导电网，所述导电网被支撑于所述衬底支撑组件与所述室盖之间，以将布置于所述室内的等离子体中的离子接地。