大尺度原子栅纳米测量装置

摘要

本发明公开了大尺度原子栅纳米测量装置，包括多级减振系统、基座；其特征在于：设置在基座上的组合减振平台上设置纳米进给工作台，可移动式纳米进给工作台上设置原子栅，纳米进给工作台带动原子栅移动；扫描隧道显微镜上的探针设置在原子栅上方，探针在压电陶瓷驱动器驱动下移动；信号采集器与扫描隧道显微镜相连接，脉冲电路将模拟信号转换为脉冲信号触发计数器计数，再输入计算机计算处理。本发明的测量装置，大大增加了测量范围，适应纳米构件加工技术的需要；在X方向的最大范围为20mm，在Y方向的最大范围为20mm；在X方向和Y方向上均可进行纳米测量，测量范围的大小决定于纳米进给工作台最大行程。

主权项

大尺度原子栅纳米测量装置，包括多级减振系统、基座(4)；其特征在于：组合减振平台(5)设置在基座(4)上；在组合减振平台(5)上设置纳米进给工作台(6)，可移动式纳米进给工作台(6)上设置原子栅(7)，纳米进给工作台(6)移动时带动原子栅(7)移动；扫描隧道显微镜(13)上的探针(8)设置在原子栅(7)上方，探针(8)在压电陶瓷驱动器(9)驱动下移动；信号采集器(14)与扫描隧道显微镜(13)相连接，将隧道电流的周期变化采集后送入脉冲电路(15)，脉冲电路(15)将模拟信号转换为脉冲信号触发计数器(16)计数，再输入计算机(17)计算处理；所述的多级减振系统由设置在支架(2)上的两个减振弹簧(1)构成两级弹簧减震，再通过磁性减振系统(3)和组合减振平台(5)构成，减振弹簧(1)和磁性减振系统(3)与基座(4)相连接。