发明名称 |
扩散型兆声波清洗槽 |
摘要 |
一种扩散型兆声波清洗槽,其特征在于,包括:一清洗槽;一兆声阵列,该兆声阵列装在清洗槽的底部下面;一半球体能量扩散结构阵列,该半球体能量扩散结构阵列安装在清洗槽的底部上面,该兆声阵列与半球体能量扩散结构阵列相互对应。本实用新型的扩散型兆声波清洗槽,通过将石英槽底部的平面形状改为一些能起到扩散兆声的结构,它们将兆声振子发出的能量传递并扩散到清洗槽中,改变了本来的能量分布,从而更加适合广泛的清洗应用。 |
申请公布号 |
CN201720213U |
申请公布日期 |
2011.01.26 |
申请号 |
CN201020171696.1 |
申请日期 |
2010.04.21 |
申请人 |
云南中科鑫圆晶体材料有限公司 |
发明人 |
赵有文;惠峰;高永亮;朱蓉辉 |
分类号 |
B08B3/12(2006.01)I;H01L21/00(2006.01)I |
主分类号 |
B08B3/12(2006.01)I |
代理机构 |
中科专利商标代理有限责任公司 11021 |
代理人 |
汤保平 |
主权项 |
一种扩散型兆声波清洗槽,其特征在于,包括:一清洗槽;一兆声阵列,该兆声阵列装在清洗槽的底部下面;一半球体能量扩散结构阵列,该半球体能量扩散结构阵列安装在清洗槽的底部上面,该兆声阵列与半球体能量扩散结构阵列相互对应。 |
地址 |
650031 云南省昆明市人民中路都市名园A座6层 |