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发明名称
METHODS AND SYSTEMS FOR ULTRA-PRECISE MEASUREMENT AND CONTROL OF OBJECT MOTION IN SIX DEGREES OF FREEDOM BY PROJECTION AND MEASUREMENT OF INTERFERENCE FRINGES
摘要
申请公布号
EP1907788(A4)
申请公布日期
2011.01.26
申请号
EP20060787781
申请日期
2006.07.18
申请人
THE OHIO STATE UNIVERSITY
发明人
KIM, JUNG H.;MENQ, CHIA-HSIANG
分类号
G01B9/02;G03F7/20;G03F9/00
主分类号
G01B9/02
代理机构
代理人
主权项
地址
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