主权项 |
一种光学球面面形的光纤点衍射移相干涉测量方法,实现该方法的测量装置包括分光系统、测量光纤(14)、参考光纤(15)、分光棱镜(16)、辅助正透镜(17)、被测球面镜、端面(19)、成像镜头(20)、CCD摄像机(21)、计算机(22),被测球面镜为凸面镜(18)或凹面镜(24),其特征在于:被测球面镜球心置于辅助正透镜(17)的焦点处;第一步:从分光系统进入测量光纤(14)并发生衍射的球面波通过分光棱镜(16)反射到辅助正透镜(17),被变换为汇聚的球面波前;上述汇聚球面波前在被测球面镜的表面反射,反射波前携带了被测球面镜的面形信息;上述反射波前通过辅助正透镜(17),透过分光棱镜(16)汇聚到参考光纤(15)端面(19),形成第一测量波前;参考光纤(15)端面(19)被抛光成28°斜面并镀半透半反膜,上述第一测量波前在参考光纤(15)端面(19)作镜向反射,反射的测量波前与参考光纤(15)自身衍射的高精度球面波前汇合而发生干涉;干涉图采用标准方法进行处理和分析;第二步:移除被测球面镜,保持其他光学元件原位不动,在辅助正透镜(17)的焦点处放置平面反射镜(23);由测量光纤(14)衍射的球面波通过分光棱镜(16)反射到辅助正透镜(17),被变换为汇聚的球面波前;该汇聚球面波前被上述平面反射镜(23)反射,反射波前通过辅助正透镜(17),透过分光棱镜(16),汇聚到参考光纤(15)端面(19),形成第二测量波前;上述第二测量波前在参考光纤(15)端面(19)作镜向反射,反射的测量波前与参考光纤(15)自身衍射的高精度球面波前汇合而发生干涉;干涉图采用标准方法进行处理和分析;第一步测量结果减去第二步测量结果即得到被测球面镜的波差;将该波差除以2即得到被测球面镜的面形。 |