| 发明名称 | 工件夹头结构 | ||
| 摘要 | 本发明涉及一种工件夹头结构，具有一装设段；一延伸段，衔接于该装设段并且弯曲延伸；以及一承托段，衔接于该延伸段，该承托段具有一承载面，且该承载面具有多个凹入到该承托段之中的沟槽，沟槽内还具有一倾斜角度的斜面。利用此工件夹头夹持一待加工工件进行溅镀工艺，于待加工工件表面与工件夹头的承载面分别形成一镀膜时，通过此沟槽的设置，使得形成于承载面上的镀膜不会剥落而掉落于待加工工件表面，以提升溅镀工艺的合格率。 | ||
| 申请公布号 | CN101403095B | 申请公布日期 | 2011.01.26 |
| 申请号 | CN200810177807.7 | 申请日期 | 2008.12.01 |
| 申请人 | 友达光电股份有限公司 | 发明人 | 赖育章 |
| 分类号 | C23C14/34(2006.01)I;H01L21/687(2006.01)I | 主分类号 | C23C14/34(2006.01)I |
| 代理机构 | 隆天国际知识产权代理有限公司 72003 | 代理人 | 潘培坤;张向琨 |
| 主权项 | 一种工件夹头结构，包括有：一装设段；一延伸段，衔接于该装设段并且弯曲延伸；以及一承托段，衔接于该延伸段，该承托段具有一承载面，且该承载面具有多个凹入到该承托段之中的沟槽，所述沟槽内还具有一倾斜角度的斜面。 | ||
| 地址 | 中国台湾新竹市 | ||