用于安瓿的加热阀歧管

摘要

本发明的实施方式提供一种用于产生可用在气相沉积处理系统中的气态化学前驱物的装置和方法。在一个实施方式中，该装置含有阀歧管组件，该阀歧管组件包括具有至少一个嵌入式电加热器的阀组件主体，贯穿该阀组件主体的入口通道，第一气动阀和第一手动阀，该第一气动阀和第一手动阀耦合到阀组件主体并被设置成控制入口通道内的流体流动，贯穿阀组件主体的出口通道，和第二气动阀和第二手动阀，该第二气动阀和第二手动阀耦合到阀组件主体并被设置成控制在出口通道内的流体流动。阀歧管组件还含有连接至入口和出口通道并连接在其间的旁通通道，和含有被设置成控制旁通通道内流体流动的旁通阀。

主权项

一种用于产生用在气相沉积处理系统中的化学前驱物的装置，包括：罐，所述罐包括围成其中的内部空间的侧壁、顶部和底部；与所述内部空间流体连通的入口端和出口端；加热阀组件，所述加热阀组件耦合到并流体连通到入口端和出口端，其中所述加热阀组件包括加热源、旁通通道和至少五个阀。