真空气相沉积装置

摘要

提供了一种真空气相沉积装置，其中作为用于蒸发气相沉积材料的容器的坩埚放置在真空室内部，并且通过使用在所述坩埚中蒸发的气相沉积材料在基板上形成薄膜。该装置包括用于从所述真空室的外部测量所述坩埚中的所述气相沉积材料的体积的测量装置。

主权项

一种真空气相沉积装置，其中，作为用于蒸发气相沉积材料的容器的坩埚放置在真空室内，并且通过使用在所述坩埚中蒸发的气相沉积材料在基板上形成薄膜，所述真空气相沉积装置包括用于从所述真空室的外部测量所述坩埚中的所述气相沉积材料的体积的测量装置。