| 发明名称 | 去除光罩上的保护膜胶的方法 | ||
| 摘要 | 本发明公开了一种去除光罩上的保护膜胶的方法，包括：将留有保护膜胶的光罩放置在真空室内，在所述真空室内通入氧气和水蒸气的混合气体；在真空室内氧气被电离为氧离子，水蒸气被电离为氢离子和氢氧根离子，电离得到的氧离子、氢离子和氢氧根离子与光罩的保护膜胶反应，去除光罩上的保护膜胶；在真空室内通入氮气，携带反应后的残余气体排除真空室。本发明在提高光罩使用寿命的前提下干净去除光罩上的保护膜胶。 | ||
| 申请公布号 | CN101957554A | 申请公布日期 | 2011.01.26 |
| 申请号 | CN200910054801.5 | 申请日期 | 2009.07.14 |
| 申请人 | 中芯国际集成电路制造(上海)有限公司 | 发明人 | 刘戈炜;赵蓓 |
| 分类号 | G03F1/00(2006.01)I;H01L21/00(2006.01)I | 主分类号 | G03F1/00(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京德琦知识产权代理有限公司 11018 | 代理人 | 牛峥;王丽琴 |
| 主权项 | 一种去除光罩上的保护膜胶的方法，包括：将留有保护膜胶的光罩放置在真空室内，在所述真空室内通入氧气和水蒸气的混合气体；在真空室内氧气被电离为氧离子，水蒸气被电离为氢离子和氢氧根离子，电离得到的氧离子、氢离子和氢氧根离子与光罩的保护膜胶反应，去除光罩上的保护膜胶；在真空室内通入氮气，携带反应后的残余气体排除真空室。 | ||
| 地址 | 201203 上海市浦东新区张江路18号 | ||