在周期极化近化学剂量比铌酸锂上制备平面和条形波导的方法

摘要

在周期极化近化学剂量比铌酸锂晶体上制作平面和条形光波导的方法，属于非线性光学晶体材料技术领域。制备方法如下：将已实现铁电畴周期极化的z切的铌酸锂晶体切割成尺寸为10mm×10mm×1mm的样品，对表面及相对两个端面光学抛光；用酒精和丙酮清洗样品，在样品上甩涂BP218光刻胶，掩模板曝光，然后显影、坚膜，形成光刻胶的条形掩模；将样品放在加速器靶室中，抽真空至10-4帕量级，进行轻离子或重离子注入；清洗光刻胶掩模，得到条形光波导；对样品光学抛光、清洗后直接进行离子注入，即得到平面光波导。

主权项

一种在周期极化近化学剂量比铌酸锂上制备平面和条形波导的方法，其特征在于，制备方法如下：1)将已实现铁电畴周期极化的z切的近化学剂量比铌酸锂晶体切割成尺寸为10mm×10mm×1mm的样品，将样品表面及样品相对两个端面光学抛光，先后用酒精和丙酮清洗样品；2)在样品上甩涂BP218光刻胶，用周期50微米，条宽5到10微米的掩模板曝光，然后显影、坚膜，在晶体表面形成光刻胶的条形掩模；3.)将步骤2)得到的样品放在加速器靶室中，抽真空至10‑4帕量级，进行轻离子或重离子注入；轻离子注入时，选择能量为400‑550keV、剂量为1×1016离子/平方厘米量级、离子束流为100nA、扫描面积为15cm×20cm；重离子注入时，选择能量为1MeV‑6MeV、剂量为1×1013‑5×1015离子/平方厘米、离子束流为20nA、扫描面积为15cm×20cm；所述的轻离子为氢离子或氦离子，重离子为氧离子或碳离子或铜离子或磷离子；4)清洗光刻胶掩模，得到条形光波导；5)对步骤1)得到的样品直接进行步骤3)所述的离子注入，得到平面光波导。