| 发明名称 | 盐及包含该盐的光致抗蚀剂组合物 | ||
| 摘要 | 一种如式(I-Pa)所示的盐：<img file="201010234021.1_ab_0.GIF" wi="394" he="77" />其中X<sup>Pa</sup>代表单键或C1-C4亚烷基，R<sup>Pa</sup>代表单键、C4-C36二价脂环烃基或C6-C36二价芳香烃基，其中所述二价脂环烃基中的一个以上亚甲基可用-O-或-CO-替代，Y<sup>Pa</sup>代表可聚合的基团，以及Z<sup>Pa+</sup>代表有机阳离子。 | ||
| 申请公布号 | CN101955454A | 申请公布日期 | 2011.01.26 |
| 申请号 | CN201010234021.1 | 申请日期 | 2010.07.12 |
| 申请人 | 住友化学株式会社 | 发明人 | 市川幸司;杉原昌子;山下裕子 |
| 分类号 | C07C381/12(2006.01)I;C07C57/04(2006.01)I;C07C69/54(2006.01)I;C07C63/64(2006.01)I;C07D333/76(2006.01)I;C07D333/46(2006.01)I;C07C25/18(2006.01)I;C08F220/18(2006.01)I;C08F120/06(2006.01)I;C08F122/16(2006.01)I;C08F212/14(2006.01)I;G03F7/004(2006.01)I;G03F7/00(2006.01)I | 主分类号 | C07C381/12(2006.01)I |
| 代理机构 | 上海市华诚律师事务所 31210 | 代理人 | 涂勇 |
| 主权项 | 1.一种如式(I-Pa)所示的盐：<img file="FSA00000202254600011.GIF" wi="954" he="155" />其中X<sup>Pa</sup>代表单键或C1-C4亚烷基，R<sup>Pa</sup>代表单键、C4-C36二价脂环烃基或C6-C36二价芳香烃基，其中所述二价脂环烃基中的一个以上的亚甲基可用-O-或-CO-替代，Y<sup>Pa</sup>代表可聚合的基团，以及Z<sup>Pa+</sup>代表有机阳离子。 | ||
| 地址 | 日本国东京都中央区新川二丁目27番1号 | ||