| 发明名称 | Ⅲ族氮化物基板的制造方法 | ||
| 摘要 | 本发明的目的在于提供一种第三族氮化物基板的制造方法，使用通过金属线(22)而构成的金属线列(21)切断结晶块(3)，该结晶块(3)包含六方晶系第三族氮化物结晶。此时，以将结晶块(3)及金属线(22)中至少一方在与金属线(22)延长方向B直交的方向上进行传送并且一边供给研磨液一边切断结晶块(3)的方式，切断结晶块(3)。切断结晶块(3)时，将金属线(22)的延长方向B相对于结晶块(3)的{1-100}面倾斜3°以上。 | ||
| 申请公布号 | CN101335205B | 申请公布日期 | 2011.01.26 |
| 申请号 | CN200810144145.3 | 申请日期 | 2005.12.27 |
| 申请人 | 住友电气工业株式会社 | 发明人 | 松本直树 |
| 分类号 | H01L21/304(2006.01)I;B28D5/04(2006.01)I;B28D1/06(2006.01)I;B24B27/06(2006.01)I | 主分类号 | H01L21/304(2006.01)I |
| 代理机构 | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人 | 李香兰 |
| 主权项 | 一种氮化镓基板，其通过切断由六方晶系的氮化镓结晶构成的结晶块制造而成，其中，具有如下的切断所述结晶块的工序：一边以所述结晶块和金属线列相接触的方式传送所述结晶块以及所述金属线列中的至少一方，一边供给研磨液，同时切断所述结晶块，在切断所述结晶块时，使所述金属线列所含的金属线的延长方向相对于所述结晶块的{1‑100}面倾斜3°以上，基板的翘曲为50μm以下。 | ||
| 地址 | 日本大阪府 | ||