| 发明名称 | 太阳能电池表面三层减反钝化膜 | ||
| 摘要 | 本发明涉及太阳能电池技术领域，尤其是一种太阳能电池表面三层减反钝化膜，该减反膜是在硅片衬底表面上沉积一层第一氮化硅薄膜，在第一氮化硅薄膜表面上再沉积一层第二氮化硅薄膜，再在第二氮化硅薄膜表面上沉积一层二氧化硅薄膜，第一氮化硅薄膜的厚度为10～50纳米，折射率为2.5～3.0。本发明提高了太阳能电池表面的钝化效果，降低了太阳电池表面的反射率，并使之能与组件相匹配，减少组件封装损失，提高电池电性能。 | ||
| 申请公布号 | CN101958353A | 申请公布日期 | 2011.01.26 |
| 申请号 | CN201010152139.X | 申请日期 | 2010.04.20 |
| 申请人 | 常州天合光能有限公司 | 发明人 | 陈亮 |
| 分类号 | H01L31/052(2006.01)I;H01L31/0216(2006.01)I;H01L31/18(2006.01)I | 主分类号 | H01L31/052(2006.01)I |
| 代理机构 | 常州市维益专利事务所 32211 | 代理人 | 王凌霄 |
| 主权项 | 一种太阳能电池表面三层减反钝化膜，其特征在于：所述减反膜是在硅片衬底(1)表面上沉积一层第一氮化硅薄膜(2)，在第一氮化硅薄膜(2)表面上再沉积一层第二氮化硅薄膜(3)，再在第二氮化硅薄膜(3)表面上沉积一层二氧化硅薄膜(4)，所述的第一氮化硅薄膜(2)的厚度为10～50纳米，折射率为2.5～3.0。 | ||
| 地址 | 213031 江苏省常州市新北区电子产业园天合路2号 | ||