| 发明名称 | 一种钨钛合金靶材结构的制作方法 | ||
| 摘要 | 一种钨钛合金靶材结构的制作方法，所述方法包括：提供靶材，所述靶材为钨钛合金；对所述靶材表面进行活化处理；用化学镀工艺，在活化处理后的靶材焊接面上形成金属镀层；将化学镀处理后的靶材焊接至背板。在钨钛合金靶材的焊接面上化学镀形成金属镀层，利用金属镀层作为中间媒介，使得靶材与背板焊接后实现二者的牢固结合，具有较高的结合强度。本发明摸索出了一条稳定的在钨钛合金靶材的表面用化学镀方法镀金属层的工艺流程，并实现了工业化生产。 | ||
| 申请公布号 | CN101956168A | 申请公布日期 | 2011.01.26 |
| 申请号 | CN201010526670.9 | 申请日期 | 2010.10.29 |
| 申请人 | 宁波江丰电子材料有限公司 | 发明人 | 姚力军;潘杰;王学泽;袁海军 |
| 分类号 | C23C14/34(2006.01)I;B23K1/20(2006.01)I | 主分类号 | C23C14/34(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人 | 骆苏华 |
| 主权项 | 一种钨钛合金靶材结构的制作方法，其特征在于，所述方法包括：提供靶材，所述靶材为钨钛合金；对所述靶材表面进行活化处理；利用化学镀工艺，在活化处理后的靶材焊接面上形成金属镀层；将化学镀处理后的靶材焊接至背板。 | ||
| 地址 | 315400 浙江省宁波市余姚市经济开发区名邦科技工业园区安山路198号 | ||