透射模式中的干涉式调制器

摘要

本发明揭示一种透射性微机械装置，其包括：衬底；光学堆叠，其位于所述衬底上；及可移动薄膜，其位于所述光学堆叠上。所述可移动薄膜可包括部分反射镜且经配置以从第一位置移动到第二位置。当所述可移动薄膜处于所述第一位置时，所述透射性微机械装置经配置以传递具有预定色彩的光，且当所述可移动薄膜处于所述第二位置时，所述微机械装置经配置以阻挡大体上所有入射于所述衬底上的光。

主权项

一种透射性微机械装置，其包含：衬底；光学堆叠，其位于所述衬底上；以及可移动薄膜，其位于所述光学堆叠上，所述可移动薄膜包含部分反射镜，所述可移动薄膜经配置以从第一位置移动到第二位置，其中在所述可移动薄膜处于所述第一位置的情况下，所述透射性微机械装置经配置以传递具有预定色彩的光，且其中在所述可移动薄膜处于所述第二位置的情况下，所述微机械装置经配置以阻挡大体上所有入射于所述衬底上的光。