新型加工石英坩埚的金属模具

摘要

新型加工石英坩埚的金属模具，包括外筒、底板、成型内筒，所述外筒与成型内筒的夹层内设有进水管，所述成型内筒底部镂空，所述镂空处连接有水冷底座，所述水冷底座上设有真空抽气孔和出水管，所述真空抽气孔与水冷底座上的真空腔连通，所述水冷底座上设有将水路与气路分隔开的冷却立柱。本实用新型的优点及有益效果：内筒没有变形，石英坩埚尺寸精度提高；自动化焊接，焊缝质量好、效率高；取消了内筒和冷却立柱贴合面的间隙，直接进行水冷，提高冷却效果，提高模具使用寿命；减少辅料消耗量和有害气体排放，实现清洁生产。

主权项

新型加工石英坩埚的金属模具，包括外筒、底板、成型内筒，所述外筒与成型内筒的夹层内设有进水管，其特征在于：所述成型内筒底部镂空，所述镂空处连接有水冷底座，所述水冷底座上设有真空抽气孔和出水管，所述真空抽气孔与水冷底座上的真空腔连通，所述水冷底座上设有将水路与气路分隔开的冷却立柱。