一种分子泵用动叶轮

摘要

本实用新型涉及一种分子泵用动叶轮，它包括芯轴及与其配合的动叶片，所述两相邻的动叶片之间设置有叶片隔离环，动叶片采用单片加工，可以方便地控制其几何参数，并减轻了动叶轮的重量，减小了动叶轮的转动惯量，从而提高了分子泵的转速；动叶片及叶片隔离环与芯轴采用过盈配合，过盈量为0.05～0.07mm，这种装配方式，加工工艺简单，容易实现，加工成本低，装配简单，装配精度高，有效地缩短了装配时间，动叶片之间无层间返流问题，延长了分子泵的使用寿命。

主权项

一种分子泵用动叶轮，它包括芯轴及与其配合的动叶片，其特征是：所述两相邻的动叶片之间设置有叶片隔离环，动叶片及叶片隔离环与芯轴采用过盈配合。