| 发明名称 | 集成外转子式直驱抛光机转台 | ||
| 摘要 | 本发明涉及抛光设备技术领域，特别是关于一种集成外转子式直驱抛光机转台装置。支撑轴承的内圈固定安装于转子轴盘，支撑轴承的外圈固定安装于轴承座内，抛光盘安装于转子轴盘上，支撑轴承为转子轴盘和抛光盘提供精密的旋转支撑；直驱电机定子通过支撑盘安装于转子轴盘内部；圆光栅安装在转子轴盘下端，读数头安装在支撑盘上，用以完成转台的速度和位置反馈控制。转子轴盘集成了直驱电机的转子，实现直驱电机对抛光盘的直接驱动，使得转台结构紧凑、精度高，可广泛应用于精密抛光设备。 | ||
| 申请公布号 | CN101554710B | 申请公布日期 | 2011.01.26 |
| 申请号 | CN200910083590.8 | 申请日期 | 2009.05.11 |
| 申请人 | 清华大学 | 发明人 | 路新春;赵德文;王同庆;雒建斌 |
| 分类号 | B24B29/00(2006.01)I;H01L21/304(2006.01)I | 主分类号 | B24B29/00(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京众合诚成知识产权代理有限公司 11246 | 代理人 | 张文宝 |
| 主权项 | 集成外转子式直驱抛光机转台，其特征在于，支撑轴承(2)的内圈安装在转子轴盘(3)上，支撑轴承(2)的外圈安装于轴承座(1)内；抛光盘(6)安装于转子轴盘(3)上；支撑盘(8)与轴承座(1)下端用螺栓联接，直驱电机定子(7)用螺栓安装于支撑盘(8)上；所述的转子轴盘(3)集成了直驱电机转子，直驱电机定子(7)位于转子轴盘(3)内部，转子轴盘(3)与直驱电机定子(7)组成外转子型直驱电机；圆光栅(9)安装在转子轴盘(3)下端，读数头(10)安装在支撑盘(8)上，用以完成转台的速度和位置反馈控制；集液槽(11)安装于抛光盘(6)外沿下方，用以实现对抛光盘(6)上表面液体的收集。 | ||
| 地址 | 100084 北京市100084-82信箱 | ||