| 发明名称 | 图案化的方法以及用于图案化的堆叠结构 | ||
| 摘要 | 本发明公开一种图案化的方法以及用于图案化的堆叠结构。图案化的方法包括在基板上提供待图案化的薄膜，接着，在薄膜上形成覆盖层。覆盖层的材料与薄膜的材料相异。之后，以高能光束熔损覆盖层与薄膜，以形成图案化的覆盖层与图案化的薄膜。其后，选择性移除图案化的覆盖层。 | ||
| 申请公布号 | CN101957560A | 申请公布日期 | 2011.01.26 |
| 申请号 | CN200910139945.0 | 申请日期 | 2009.07.15 |
| 申请人 | 台湾薄膜电晶体液晶显示器产业协会;中华映管股份有限公司;友达光电股份有限公司;瀚宇彩晶股份有限公司;奇美电子股份有限公司;财团法人工业技术研究院 | 发明人 | 赖识翔;苏国辉;王敏吉;梁硕玮;姜信铨 |
| 分类号 | G03F7/20(2006.01)I;H01L21/336(2006.01)I;H01L31/18(2006.01)I;H01L21/82(2006.01)I | 主分类号 | G03F7/20(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京市柳沈律师事务所 11105 | 代理人 | 陈小雯 |
| 主权项 | 一种图案化的方法，包括：在基板上提供第一薄膜，前述第一薄膜待图案化；在前述第一薄膜上形成一覆盖层，其中前述覆盖层的材料与前述第一薄膜的材料相异；前述以光束通过光掩模熔损前述覆盖层与前述第一薄膜，以形成图案化的覆盖层与图案化的第一薄膜；以及选择性移除前述图案化的覆盖层。 | ||
| 地址 | 中国台湾新竹县 | ||