| 发明名称 | 压电薄膜谐振器、滤波器、通信模块及通信装置 | ||
| 摘要 | 本发明的压电薄膜谐振器具有：基板(1)；中间层(7)，其配置在基板(1)上，由绝缘体形成；下部电极(3)，其配置在中间层(7)上；压电膜(4)，其配置在下部电极(3)上；以及上部电极(5)，其配置在隔着压电膜(4)与下部电极(3)相对向的位置处，在下部电极(3)与上部电极(5)相对向的谐振部(8)的区域内，在基板(1)和中间层(7)上，或在下部电极(3)与中间层(7)之间形成有空隙(6)，空隙(6)的区域包括在谐振部(8)的区域内。根据该结构，能够抑制振动能量从谐振区域散逸到基板，从而能够提高品质因数。 | ||
| 申请公布号 | CN101960717A | 申请公布日期 | 2011.01.26 |
| 申请号 | CN200880127827.1 | 申请日期 | 2008.03.04 |
| 申请人 | 太阳诱电株式会社 | 发明人 | 原基扬;西原时弘;谷口真司;坂下武;横山刚;岩城匡郁;上田政则 |
| 分类号 | H03H9/17(2006.01)I;H03H9/54(2006.01)I | 主分类号 | H03H9/17(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京三友知识产权代理有限公司 11127 | 代理人 | 黄纶伟;朱丽娟 |
| 主权项 | 一种压电薄膜谐振器，其具有：基板；中间层，其配置在所述基板上，由绝缘体形成；下部电极，其配置在所述中间层上；压电膜，其配置在所述下部电极上；以及上部电极，其配置在隔着所述压电膜与所述下部电极相对向的位置处，在所述下部电极与所述上部电极相对向的谐振部的区域内，在所述基板和所述中间层，或在所述下部电极与所述中间层之间形成有空隙，所述空隙的区域包括在所述谐振部的区域内。 | ||
| 地址 | 日本东京都 | ||