发明名称 |
包含吸电子取代基和内酯骨架的单体、高分子化合物及光致抗蚀剂组合物 |
摘要 |
本发明提供下述式(1)(式中,R<sup>a</sup>表示氢原子、碳原子数1~6的烷基等,R<sup>1</sup>表示卤素原子、任选具有卤素原子的碳原子数1~6的烷基等。A表示碳原子数1~6的亚烷基、氧原子、硫原子或非键合。m表示0~8的整数。X表示吸电子取代基、n表示1~9的整数。Y表示碳原子数1~6的2价有机基团)所表示的包含吸电子取代基和内酯骨架的单体。所述单体将所述单体应用于抗蚀剂用树脂等中时,所述单体作为高功能性高分子等的单体成分等是有用的,所述能够高功能性高分子等在保持耐化学品性等稳定性的同时,在有机溶剂中的溶解性良好,水解性和/或水解后在水中的溶解性得到提高。<img file="200980106342.9_ab_0.GIF" wi="394" he="154" /> |
申请公布号 |
CN101959909A |
申请公布日期 |
2011.01.26 |
申请号 |
CN200980106342.9 |
申请日期 |
2009.02.03 |
申请人 |
大赛璐化学工业株式会社 |
发明人 |
小山裕;北尾久平;江口明良 |
分类号 |
C08F20/36(2006.01)I;C07D307/93(2006.01)I;G03F7/039(2006.01)I;H01L21/027(2006.01)I |
主分类号 |
C08F20/36(2006.01)I |
代理机构 |
北京市柳沈律师事务所 11105 |
代理人 |
张平元 |
主权项 |
1.下述式(1)所表示的包含吸电子取代基和内酯骨架的单体,<img file="FPA00001208003500011.GIF" wi="1217" he="503" />式中,R<sup>a</sup>表示氢原子、卤素原子、或任选具有取代基的碳原子数1~6的烷基;R<sup>1</sup>是键合在环上的取代基,表示卤素原子、任选具有卤素原子的碳原子数1~6的烷基、羟基部分任选被保护基团保护起来且任选具有卤素原子的碳原子数1~6的羟基烷基、任选成盐的羧基、或取代氧基羰基;A表示碳原子数1~6的亚烷基、氧原子、硫原子或非键合;m为R<sup>1</sup>的个数,表示0~8的整数;X表示吸电子取代基;n为键合在环上的X的个数,表示1~9的整数;Y表示碳原子数1~6的2价有机基团;CH<sub>2</sub>=C(R<sup>a</sup>)COO-Y-COO-基团的空间位置为内向构型、外向构型中的任意构型。 |
地址 |
日本大阪府 |