发明名称 |
声波器件及滤波器 |
摘要 |
本发明涉及声波器件和滤波器。所述声波器件包括压电基板,在所述压电基板上形成的第一介电膜,以及在所述第一介电膜上设置的并且激发声波的多个电极,所述电极包括多个电极指。在所述电极指中的相邻电极指之间,所述第一介电膜的至少一部分被切除。 |
申请公布号 |
CN101150302B |
申请公布日期 |
2011.01.26 |
申请号 |
CN200710153441.5 |
申请日期 |
2007.09.19 |
申请人 |
太阳诱电株式会社 |
发明人 |
松田隆志;井上将吾;三浦道雄;松田聪;上田政则;水户部整一 |
分类号 |
H03H9/25(2006.01)I;H03H9/64(2006.01)I;H03H9/145(2006.01)I |
主分类号 |
H03H9/25(2006.01)I |
代理机构 |
北京三友知识产权代理有限公司 11127 |
代理人 |
孙海龙 |
主权项 |
一种声波器件,所述声波器件包括:压电基板;在所述压电基板上形成的第一介电膜;在所述第一介电膜上设置的并且激发声波的多个电极,所述电极包括多个电极指;以及覆盖所述电极的第二介电膜,在所述电极指中的相邻电极指之间,所述第一介电膜的至少一部分被切除,所述第一介电膜包括铝氧化物膜,所述第二介电膜包括硅氧化物膜,所述第一介电膜的厚度小于0.02λ,λ是所述电极指的周期。 |
地址 |
日本东京都 |