药液供给装置

摘要

本发明涉及一种药液供给装置，包括：喷嘴，其设有用于向基板吐出药液的吐出口；药液供给单元，其可上下移动地设置在喷嘴的上部，并向喷嘴供给药液。而所述药液的吐出量，则通过调整药液供给单元与喷嘴之间的高度差来予以调节。药液供给装置还包括传感器，其用于检测储存药液的液位，并根据液位开启或关闭阀门。所述药液供给单元还包括排出单元，在药液达到一定液位时，其用于将多余的药液排出到外部。另外，药液供给单元安装在喷嘴上部，通过高度差来供给药液，因此无需另设抽吸装置，从而可降低生产成本。而且，由于药液供给单元安装在喷嘴的上部，并向下部供给药液，因此可最大限度地防止泡沫流入到供给至喷嘴的药液中，从而提高生产效率。

主权项

一种药液供给装置，其特征在于，包括：喷嘴，其形成有用于向基板吐出药液的吐出口；及药液供给单元，其可上下移动地设置在所述喷嘴的上部，并向所述喷嘴供给药液，其中，通过调整所述药液供给单元与所述喷嘴之间的高度差来调节药液吐出量；所述药液供给单元，包括：药液储存槽，其用于向所述喷嘴供给药液；药液导管，其一端与所述药液储存槽相连接，而另一端与所述喷嘴相连接，用于将所述药液储存槽的药液导入所述喷嘴；第一阀门，其安装在所述药液导管上，并选择性地开启或关闭所述药液导管；及高度调节装置，其安装在所述药液储存槽的一侧，用于调节所述药液储存槽的高度；所述药液供给单元进一步包括排出单元，其用于在供给到药液储存槽的药液超过预定液位时，排出过量的药液；所述排出单元包括，排出管，其与所述药液储存槽一侧相连接；排出槽，其与所述排出管相连接，用于储存通过排出管排出的药液。