| 发明名称 | 基于剪应力检测的石英微机械陀螺及其制作方法 | ||
| 摘要 | 一种基于剪应力检测的石英微机械陀螺及制作方法，它包括支撑质量块、第一悬臂梁、第二悬臂梁、第一驱动梁、第二驱动梁、四个可动质量块以及驱动电极和检测电极，所述第一悬臂梁和第二悬臂梁对称布置于支撑质量块的两端，支撑质量块通过第一悬臂梁与第一驱动梁相连，支撑质量块通过第二悬臂梁与和第二驱动梁相连，所述第一驱动梁和第二驱动梁的布置方向与第一悬臂梁和第二悬臂梁的布置方向垂直，所述四个可动质量块分别固定于第一驱动梁和第二驱动梁的端部。本发明是一种结构简单紧凑、成本低廉、制作工艺简单、灵敏度高、抗干扰能力强的基于剪应力检测的石英微机械陀螺及制作方法。 | ||
| 申请公布号 | CN101363731B | 申请公布日期 | 2011.01.26 |
| 申请号 | CN200810143292.9 | 申请日期 | 2008.09.25 |
| 申请人 | 中国人民解放军国防科学技术大学 | 发明人 | 吴学忠;李圣怡;谢立强;肖定邦;董培涛;满海鸥;王浩旭 |
| 分类号 | G01C19/56(2006.01)I;B81B7/02(2006.01)I;B81C1/00(2006.01)I | 主分类号 | G01C19/56(2006.01)I |
| 代理机构 | 湖南兆弘专利事务所 43008 | 代理人 | 陈晖 |
| 主权项 | 一种基于剪应力检测的石英微机械陀螺，其特征在于：它包括支撑质量块(2)、用于敏感科里奥利力导致的剪切力并在±Y方向反相振动的第一悬臂梁(3)和第二悬臂梁(4)、第一驱动梁(5)、第二驱动梁(6)、四个可动质量块以及驱动电极和检测电极，所述第一悬臂梁(3)和第二悬臂梁(4)对称布置于支撑质量块(2)的两端，支撑质量块(2)通过第一悬臂梁(3)与第一驱动梁(5)相连，支撑质量块(2)通过第二悬臂梁(4)与和第二驱动梁(6)相连，所述第一驱动梁(5)和第二驱动梁(6)的布置方向与第一悬臂梁(3)和第二悬臂梁(4)的布置方向垂直，所述四个可动质量块分别固定于第一驱动梁(5)和第二驱动梁(6)的端部，所述固定于第一驱动梁(5)端部的两个可动质量块在±X方向上同相振动，所述固定于第二驱动梁(6)端部的两个可动质量块也在±X方向上同相振动且与固定于第一驱动梁(5)端部的两个可动质量块的振动方向相反。 | ||
| 地址 | 410073 湖南省长沙市砚瓦池正街47号中国人民解放军国防科学技术大学机电工程与自动化学院 | ||