等离子体处理装置及其上电极板

摘要

本发明涉及一种等离子体处理装置及其上电极板，该上电极板安装于腔体内，腔体设置有托板，上电极板包含：第一表面；第二表面，对应第一表面；至少一个气体扩散孔，由第一表面延伸至第二表面，用以导入制程气体；及至少一个定位孔，位于第一表面而未延伸至第二表面，用以锁入锁固元件而定位于托板。本发明以锁固元件将上电极板定位于托板，防止上电极在长期使用的情况下产生弯曲的问题，并将上电极板的定位孔以封孔设计(定位孔位于第一表面上而未延伸至第二表面)或设置封孔块，以此避免制程气体中的离子累积于上电极的锁固元件处而造成产品产生色差，以此提升产品的质量与合格率。

主权项

一种上电极板，安装于一腔体内，该腔体设置有一托板，该上电极板包含：一第一表面；一第二表面，对应该第一表面；至少一个气体扩散孔，由该第一表面延伸至该第二表面，用以导入一制程气体；至少一个定位孔，由该第一表面延伸至该第二表面，一锁固元件由该第一表面锁入该定位孔而定位于该托板；及至少一个封孔块，位于该定位孔内而阻隔该制程气体由该第二表面流至该锁固元件。