含氯硅烷的氯化氢气体生产高纯度浓盐酸的方法

摘要

本发明公开了一种含氯硅烷的氯化氢气体生产高纯度浓盐酸的方法，含氯硅烷的氯化氢气体先进入水解罐，与水解罐中浓盐酸中的水分进行水解反应，除去气体中的氯硅烷，气体再依次经过至少两个串联的降膜吸收器，在降膜吸收器中采用水循环吸收气体中的氯化氢，制成浓盐酸，氯化氢吸收后排放尾气。本发明利用本专利的方法，含氯硅烷的氯化氢气体生产高纯度浓盐酸，解决了传统方法用水直接吸收，不能得到纯的盐酸的问题。增加了多晶硅生产装置生产稳定性，互相独立性，灵活操作性，同时又能得到高纯度的盐酸，可作回收利用和副产品出售。

主权项

一种含氯硅烷的氯化氢气体生产高纯度浓盐酸的方法，其特征在于含氯硅烷的氯化氢气体先进入水解罐，与水解罐中浓盐酸中的水分进行水解反应，除去气体中的氯硅烷，气体再依次经过至少两个串联的降膜吸收器，在降膜吸收器中采用水循环吸收气体中的氯化氢，制成浓盐酸，氯化氢吸收后排放尾气；其中所述的水解罐中的浓盐酸或水循环吸收氯化氢后制得的浓盐酸的质量浓度为31～35％。