| 发明名称 | 玻璃基板吸附台以及玻璃基板加工方法 | ||
| 摘要 | 作为粘贴到玻璃基板加工机的玻璃基板吸附台上的片材(18)，其根据JIS K6253或JIS K7215的标准的硬度为90～95度，厚度为0.7mm以下，动摩擦系数为0.3以下。另外，优选的片材(18)为至少包含聚氨酯树脂片材(32)以及烯烃树脂片材(或NITOFLON片材)(34)的多层结构，总厚度为0.7mm以下。 | ||
| 申请公布号 | CN101959814A | 申请公布日期 | 2011.01.26 |
| 申请号 | CN200980106707.8 | 申请日期 | 2009.02.25 |
| 申请人 | 旭硝子株式会社 | 发明人 | 鸟井秀晴;宫本干大 |
| 分类号 | C03B33/03(2006.01)I;B24B9/00(2006.01)I;B24B9/10(2006.01)I | 主分类号 | C03B33/03(2006.01)I |
| 代理机构 | 中原信达知识产权代理有限责任公司 11219 | 代理人 | 王海川;穆德骏 |
| 主权项 | 一种玻璃基板吸附台，设置于玻璃基板加工机上，其特征在于，具备粘贴到所述玻璃基板吸附台的玻璃基板吸附面一侧的片材，该片材的根据JIS K6253(2006年)和JIS K7215(1986年)的至少一种标准的硬度为90～95度，并且厚度为0.7mm以下，动摩擦系数为0.3以下。 | ||
| 地址 | 日本东京 | ||