通过对称折叠梁弹簧解耦的单晶硅MEMS陀螺仪

摘要

本发明公开了一种通过对称折叠梁弹簧解耦的单晶硅MEMS陀螺仪，其包括定子和转子，转子包括单晶硅质量块、十六个对称折叠梁弹簧和四组可动梳齿，十六个对称折叠梁弹簧位于单晶硅质量块的周围且与单晶硅质量块相连，四组可动梳齿分布在转子的四周；定子包括四组固定式梳齿，四组固定式梳齿与转子上的四组可动梳齿交叉并形成电容器。本发明陀螺仪通过对称折叠梁弹簧结构有效解耦，同时单晶硅质量块关于中心对称，可使整个结构达到在驱动和感应方向有相匹配的谐振频率，在驱动方向有大谐振位移，感应模式下有高品质因子，以及低机械串扰，从而达到高灵敏度和低噪音的目标。

主权项

一种通过对称折叠梁弹簧解耦的单晶硅MEMS陀螺仪，其特征在于，其包括定子和转子，转子包括单晶硅质量块、十六个对称折叠梁弹簧和四组可动梳齿，十六个对称折叠梁弹簧位于单晶硅质量块的周围且与单晶硅质量块相连，四组可动梳齿分布在转子的四周；定子包括四组固定式梳齿，四组固定式梳齿与转子上的四组可动梳齿交叉并形成电容器。